者：NGA-bclz
我是無畏服部落的亂了頭發(fā) 原來在卡拉贊和軍團要塞玩了好久的聯(lián)盟 叫邊城娘子 有認識或一起玩過的戰(zhàn)友希望留個言。
一分部網(wǎng)上找的 但好多功能性的東西 還是得自己寫 現(xiàn)在分享給站在神圣大地上的牧師們。
簡單的說自己喜歡簡單的游戲界面 但經(jīng)常要拉出好多動作條設(shè)置好多快鍵才能夠用 所以才自己整理了一下 發(fā)出來。
平時是常用技能 按SHIFT鍵可以變成其它技能或高級技能 鼠標(biāo)需要有目標(biāo) 同時在技能快鍵設(shè)置里要釋放SHIFT相關(guān)的鍵子 不然SHIFT鍵不生效，不想把什么都介紹的很全面 能看懂的自然知道我一個宏里好多技能按不同的組合鍵或有不同的目標(biāo)會有不同的效果 看不懂的 就全錄驚喜吧。
1盾/痛綁定 因為都是瞬發(fā) 所以綁定在一起
--?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip [mod:alt][help]真言術(shù)：盾;[harm]暗言術(shù)：痛;暗言術(shù)：痛
/stopcasting
/施放 [@mouseover,harm,nodead]暗言術(shù)：痛;[mod:alt,@player][@mouseover,help,stance:0] [help,stance:0]真言術(shù)：盾;[]暗言術(shù)：痛
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
2恢復(fù)/懲擊
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip [mod:alt][help]恢復(fù);[harm]懲擊;懲擊;
/stopcasting
/施放 [mod:alt,@player]恢復(fù);[mod:shift,help,@mouseover]恢復(fù);[@mouseover,harm,nodead]懲擊;[nomod,@mouseover,help,stance:0][help,stance:0]恢復(fù)(等級 3);[]懲擊
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
3快速治療/心靈震爆
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip [mod:alt][help]快速治療;[harm]心靈震爆;心靈震爆
/stopcasting [@mouseover,help] [help]
/施放 [@mouseover,harm,nodead]心靈震爆;[mod:alt,@player][@mouseover,help,stance:0] [help,stance:0]快速治療;[]心靈震爆
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
4治療術(shù)/神圣之火
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip [mod:alt][help]治療術(shù);[harm]神圣之火;神圣之火;
/stopcasting [@mouseover,help] [help]
/施放 [mod:alt,@player]治療術(shù);[mod:shift,help,@mouseover]治療術(shù);[@mouseover,harm,nodead]神圣之火;[nomod,@mouseover,help,stance:0][help,stance:0]治療術(shù)(等級 2);[]神圣之火
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
5強效治療術(shù)/射擊
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip [mod:alt][help]強效治療術(shù)(等級 1);[harm]射擊;射擊
/stopcasting
/施放 [@mouseover,help] [help]心靈專注
/施放 [mod:alt,@player]強效治療術(shù);[mod:shift,help,@mouseover]強效治療術(shù);[@mouseover,harm,nodead]射擊;[nomod,@mouseover,help,stance:0][help,stance:0]強效治療術(shù)(等級 1);[]射擊
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
6治療禱言
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip 治療禱言
/stopcasting
/施放 心靈專注
/cast [nomod] 治療禱言(等級 1); [mod:ctrl] 治療禱言; [mod:shift] 治療禱言
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
7束縛亡靈
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/stopcasting
/cast [target=focus,harm,nodead,modifier:mod]束縛亡靈;[target=mouseover,harm,nodead]束縛亡靈;束縛亡靈
/腳本 if(GetRaidTargetIndex("mouseover")~=8)then SetRaidTarget("mouseover",8);end
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
8神圣新星
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip 神圣新星
/施放 [noharm] 神圣新星(等級 1);神圣新星
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
9抓賊
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip 暗言術(shù)：痛
/stopcasting
/targetenemy [help][dead][noexists]
/equip [mod:shift]地精火箭頭盔
/施放 [mod:shift,@mouseover,harm][mod:shift,@target,harm,nodead]地精火箭頭盔
/施放 [@mouseover,harm] [@target,harm,nodead] 暗言術(shù)：痛
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
10BUFF
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/cast [modifier:ctrl,button:2]精神禱言;[modifier:ctrl,button:1] 神圣之靈;[modifier:alt,button:2] 堅韌禱言;[modifier:alt,button:1] 真言術(shù)：韌;[modifier:shift,button:2] 暗影防護禱言;[modifier:shift,button:1] 防護暗影;心靈之火
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
11漸隱術(shù)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#Showtooltip 漸隱術(shù)
/run local n,i,j;j=0;for i=1,16 do n=UnitBuff("player", i);if n=="心靈之火" then j=1 end;end;if j==0 then SendChatMessage("心靈之火丟失！","whisper",nil,UnitName("player")); end;
/cast 漸隱術(shù)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
12專業(yè)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/cast [mod:ctrl] 裁縫;[mod:alt] 烹飪;[mod:shift] 急救;工程學(xué)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
13綁帶
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/cast 急救
/run for i=1, GetNumTradeSkills() do a,_,b=GetTradeSkillInfo(i) if (i==2 or i==6 or i==11) and b>0 then DoTradeSkill(i, b) break end end
/script UIErrorsFrame:Clear()
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
14上馬宏
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip 紫色骷髏戰(zhàn)馬
/equipslot [mounted] 13 比斯巨獸之眼;
/equipslot [mounted] 14 埃雷薩拉斯皇家徽記;
/dismount [mounted];
/equipslot [nomounted] 13 棍子上的胡蘿卜;
/cast [nomounted]紫色骷髏戰(zhàn)馬;
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
15吃喝
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/施放 [btn:2]蚌肉大餐
/施放 [combat]強效治療藥水
/施放 魔法甜面包
/施放 烤鵪鶉
/stopmacro [nogroup:party]
/腳本 c=string.format("%d", UnitHealth("player")/ UnitHealthMax("player")*100) SendChatMessage(c.."% 回血中……", "party",nil, 1)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/施放 [btn:2]夜鱗魚湯
/施放 [combat]超強法力藥水
/施放 魔法晶水
/施放 晨露酒
/腳本 UIErrorsFrame:Clear()
/stopmacro [nogroup:party]
/腳本 c=string.format("%d", UnitPower("player")/ UnitPowerMax("player")*100) SendChatMessage(c.."% 回藍中……", "party",nil, 1)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
進階部分 其實主要是為了喊話，先建幾個公共部分
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
1起名CB 建完放著就行 不用管
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
CreateFrame("frame",'F')F:RegisterEvent("COMBAT_LOG_EVENT_UNFILTERED")return function(t)c=InActiveBattlefield()and"SAY"or IsInRaid()and"RAID"or IsInGroup()and"PARTY"or"EMOTE"SendChatMessage(t,c)end,i and"{rt"..i.."}"or '',CombatLogGetCurrentEventInfo
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
2起名JX 同樣建完放著不用管
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
i=GetRaidTargetIndex("target")local d,b,c=loadstring(GetMacroBody("CB"))()F:SetScript("OnEvent",function()C={c()}m=C[2]:find('[AE][PF][PR]')and C[13]=="心靈尖嘯"and C[4]==UnitGUID("player")and d(b..C[9].." >>已被我恐懼")end)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
3起名QS
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
i=GetRaidTargetIndex("target")local d,b,c=loadstring(GetMacroBody("CB"))()F:SetScript("OnEvent",function()C={c()}m=C[2]=="SPELL_DISPEL"and C[4]==UnitGUID("player")and d("驅(qū)散→"..b..C[9].."的 ["..C[16].."] ")end)
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
4驅(qū)散
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip
/run local a=loadstring(GetMacroBody("QS"))()
/stopcasting
/cast [mod:alt,@player] 驅(qū)散魔法; [@mouseover,nomod] 驅(qū)散魔法; [@mouseover,mod:ctrl] 驅(qū)除疾病; [@mouseover,mod:shift] 驅(qū)除疾病
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
5心靈尖嘯
-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?-?
#showtooltip 心靈尖嘯
/run local a=loadstring(GetMacroBody("JX"))()
/stopcasting
/cleartarget
/script SetCVar("targetNearestDistance", 8)
/targetenemy
/script SetCVar("targetNearestDistance", 45)
/cast [exists]心靈尖嘯
荷蘭EUV光刻機最怕的納米壓印光刻技術(shù)（NIL）來了
一臺EUV設(shè)備的高度可以達到4-5米，重量近180噸左右。其中的零部件數(shù)量大約有10萬個。整個機器設(shè)備運輸需要3架大型運輸機，價格十億元人民幣起一臺。EUV設(shè)備曝光必須在真空室中完成。需要以0.005℃為單位精細控制溫度。由于光學(xué)系統(tǒng)對污染物非常敏感，因此要對內(nèi)部進行嚴控。所以無論是生產(chǎn)EUV設(shè)備還是操作EUV設(shè)備都不容易。
納米壓印光刻技術(shù)最早由華裔科學(xué)家周郁教授在1995年首次提出。該技術(shù)將微電子加工工藝與印刷技術(shù)疊加融合，解決了光學(xué)曝光技術(shù)中光衍射的極限問題，納米壓印光刻造芯片就像蓋章一樣，把柵極長度只有幾納米的電路刻在模板上，壓印膠均勻噴涂在晶片上，再將模板蓋在壓印膠上，得到與模板相反的圖案，經(jīng)過脫模就能夠得到一顆芯片。納米光刻技術(shù)是基于機械復(fù)制，沒有光學(xué)衍射的限制。能夠制作低于 5nm 的以下更精細的結(jié)構(gòu)尺寸，并且制作的成本低至EUV設(shè)備的40%，耗電更是減少90%左右，納米壓印光刻技術(shù)能滿足半導(dǎo)體應(yīng)用。大幅度降低光刻成本。
納米壓印光刻技術(shù)的優(yōu)點：制作設(shè)備及工藝流程簡單，生產(chǎn)效率高，有利于大規(guī)模制作生產(chǎn)，成本低，不需要昂貴嚴苛的曝光系統(tǒng)，制作的模板可以重復(fù)使用。
但是，所說的簡單只是針對EUV光刻而言，其實納米光刻本身現(xiàn)在也有很多問題需要突破，1：大量高質(zhì)量模板的制作較為困難:2；壓印膠的高精細度及優(yōu)良的抗刻蝕能力把控，3：壓印膠的噴涂流程工藝調(diào)配，4：壓印中的溫度及模板與壓印膠的均勻性貼合等等問題都存在挑戰(zhàn)。需要大量不斷試錯去研發(fā)突破。但是，一旦人們找到了整個工藝鏈條上的契合點，把它制作成生產(chǎn)程序，后期應(yīng)該是可以通過自動化更快地提高效率，進一步降低成本。
日本為了報被荷蘭阿斯麥奪取光刻機寶座之仇，據(jù)說已經(jīng)把寶全押在了納米壓印光刻技術(shù)之上，今年，佳能在鎧俠的四日市晶圓廠安裝了一臺 納米壓印光刻機器，已經(jīng)試用在了制作15納米的NAND芯片上，基本問題得到解決，下一步就是提高良率及生產(chǎn)效率。
中國目前也有很多高校科研單位及中科院所在研究納米壓印光刻技術(shù)的應(yīng)用，中國目前在這方面的專利占比約是全球?qū)＠?6%。位于全球第二，美國占比45%，位于第一。
納米壓印光刻技術(shù)有三類：熱納米壓印、紫外納米壓印和微接觸納米壓印。其中，紫外納米壓印優(yōu)勢最為明顯，微接觸納米壓印主要應(yīng)用在生物化學(xué)領(lǐng)域。在芯片領(lǐng)域，納米壓印光刻可以制造各種集成電路，尤其契合制造3D NAND、DRAM等存儲芯片。
展望未來，納米壓印光刻技術(shù)以其高精度和高效率的特點，已經(jīng)成為微小結(jié)構(gòu)制造領(lǐng)域的熱點。將來，隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，我們可以期待納米壓印光刻技術(shù)在以下兩個方面取得更大的突破。
更小的結(jié)構(gòu)：隨著光學(xué)技術(shù)和計算機技術(shù)的不斷發(fā)展，我們可以期待納米壓印光刻技術(shù)能夠制造出更小、更精密的結(jié)構(gòu)。
更多的應(yīng)用領(lǐng)域：除了電子學(xué)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，納米壓印光刻技術(shù)在環(huán)保、能源、航空航天等領(lǐng)域也具有廣泛的應(yīng)用前景。例如，在環(huán)保領(lǐng)域，利用該技術(shù)可以制造出更高效的空氣凈化器和污水處理設(shè)備；在能源領(lǐng)域，該技術(shù)可以用于制造更高效的太陽能電池和燃料電池；在航空航天領(lǐng)域，該技術(shù)可以用于制造更輕、更耐用的材料和部件，提高航空器的性能和可靠性。
總之，納米壓印光刻技術(shù)作為一種具有重大意義的技術(shù)，未來也許會在各個領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。芯片制造或許也會迎來全新的顛覆式的創(chuàng)新突破。納米壓印光刻技術(shù)是否會在未來一騎絕塵，讓我們拭目以待吧。#光刻機的突破# #芯片技術(shù)的進步# #光刻機的誕生#